Репозиторий научных и учебно-методических публикаций
ФГАОУ ВО «Северо-Кавказский федеральный университет»
Browsing by Author Shevchenko, M. Y.
Showing results 1 to 3 of 3
Issue Date | Title | Author(s) |
2016 | Growing c-axis oriented aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures | Tarala, V. A.; Тарала, В. А.; Ambartsumov, M. G.; Амбарцумов, М. Г.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.; Shevchenko, M. Y.; Шевченко, М. Ю. |
2015 | Growth of aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition | Tarala, V. A.; Тарала, В. А.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Shevchenko, M. Y.; Шевченко, М. Ю.; Valyukhov, D. P.; Валюхов, Д. П.; Lisitsyn, S. V.; Лисицын, С. В.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я. |
2016 | Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method | Tarala, V. A.; Тарала, В. А.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Ambartsumov, M. G.; Амбарцумов, М. Г.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.; Shevchenko, M. Y.; Шевченко, М. Ю. |