Репозиторий научных и учебно-методических публикаций
ФГАОУ ВО «Северо-Кавказский федеральный университет»
Browsing by ???browse.type.metadata.series??? Surface and Coatings Technology
Showing results 1 to 1 of 1
Issue Date | Title | Author(s) |
2019 | The dependence of aluminum nitride thin-film microstructure on the number of low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition process cycles | Ambartsumov, M. G.; Амбарцумов, М. Г.; Tarala, V. A.; Тарала, В. А.; Krandievsky, S. O.; Крандиевский, С. О.; Kravtsov, A. A.; Кравцов, А. А.; Saytiev, A. B.; Саутиев, А. Б.; Mitrofanenko, L. M.; Митрофаненко, Л. М. |