Репозиторий научных и учебно-методических публикаций
ФГАОУ ВО «Северо-Кавказский федеральный университет»
Browsing by ???browse.type.metadata.series??? 2016 14th International Baltic Conference on Atomic Layer Deposition, BALD 2016 - Proceedings
Showing results 1 to 1 of 1
Issue Date | Title | Author(s) |
2016 | Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method | Tarala, V. A.; Тарала, В. А.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Ambartsumov, M. G.; Амбарцумов, М. Г.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.; Shevchenko, M. Y.; Шевченко, М. Ю. |