Репозиторий научных и учебно-методических публикаций
ФГАОУ ВО «Северо-Кавказский федеральный университет»
Browsing by Subject A1. X-ray diffraction
Showing results 1 to 1 of 1
Issue Date | Title | Author(s) |
2016 | Growing c-axis oriented aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures | Tarala, V. A.; Тарала, В. А.; Ambartsumov, M. G.; Амбарцумов, М. Г.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.; Shevchenko, M. Y.; Шевченко, М. Ю. |