Репозиторий научных и учебно-методических публикаций
ФГАОУ ВО «Северо-Кавказский федеральный университет»
Please use this identifier to cite or link to this item:
https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/2215| Title: | Разработка установки для анализа литографических процессов |
| Authors: | Дьяков, Е. А. |
| Issue Date: | 2018 |
| Citation: | Дьяков Е.А. Разработка установки для анализа литографических процессов : Выпускная квалификационная работа : направление подготовки 11.04.04 Электроника и наноэлектроника; профиль подготовки «Физическая электроника» очной формы обучения / Е.А. Дьяков ; науч. рук. Л. В. Михнев.- Ставрополь, 2018.- 87 с. |
| URI: | https://dspace.ncfu.ru:443/handle/20.500.12258/2215 |
| Appears in Collections: | Магистерские диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Дьяков Е.А. 11.04.04.pdf Restricted Access | 3.42 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.