Репозиторий научных публикаций СКФУ: Search

Search

Search:
for

Current filters:

Start a new search

Add filters:

Results/Page | Sort items by In order Authors/record

Results 1-6 of 6 (Search time: 0.003 seconds).

previous
1
next

Item hits:

Issue Date	Title	Author(s)
2015	Growth of aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition	Tarala, V. A.; Тарала, В. А.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Shevchenko, M. Y.; Шевченко, М. Ю.; Valyukhov, D. P.; Валюхов, Д. П.; Lisitsyn, S. V.; Лисицын, С. В.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.
2015	Growing aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures	Tarala, V. A.; Тарала, В. А.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.; Lisitsyn, S. V.; Лисицын, С. В.
2017	Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition	Tarala, V. A.; Тарала, В. А.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Ambartsumov, M. G.; Амбарцумов, М. Г.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.
2016	Growing c-axis oriented aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures	Tarala, V. A.; Тарала, В. А.; Ambartsumov, M. G.; Амбарцумов, М. Г.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.; Shevchenko, M. Y.; Шевченко, М. Ю.
2016	Amorphous carbon buffer layers for separating free gallium nitride films	Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Kasharina, L. A.; Кашарина, Л. А.; Tarala, V. A.; Тарала, В. А.
2016	Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method	Tarala, V. A.; Тарала, В. А.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Ambartsumov, M. G.; Амбарцумов, М. Г.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.; Shevchenko, M. Y.; Шевченко, М. Ю.