Веб-портал СКФУ
Репозиторий научных и учебно-методических публикаций
Северо-Кавказский федеральный университет
Browsing by Subject Plasma theory
Showing results 1 to 2 of 2
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2015 | Growing aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures | Tarala, V. A.; Тарала, В. А.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.; Lisitsyn, S. V.; Лисицын, С. В. |
| 2019 | Perturbation of reflective discharge plasma with a hollow cathode upon the emission of plasma electrons | Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я. |