1. Репозиторий научных публикаций СКФУ

Просмотр коллекции по группе - Авторы Shevchenko, M. Y.

Перейти к: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я или введите несколько первых букв:  
Отображение результатов 1 до 3 из 3
Дата выпускаНаименованиеАвтор(ы)
2016Growing c-axis oriented aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperaturesTarala, V. A.; Тарала, В. А.; Ambartsumov, M. G.; Амбарцумов, М. Г.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.; Shevchenko, M. Y.; Шевченко, М. Ю.
2015Growth of aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer depositionTarala, V. A.; Тарала, В. А.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Shevchenko, M. Y.; Шевченко, М. Ю.; Valyukhov, D. P.; Валюхов, Д. П.; Lisitsyn, S. V.; Лисицын, С. В.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.
2016Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD methodTarala, V. A.; Тарала, В. А.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Ambartsumov, M. G.; Амбарцумов, М. Г.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.; Shevchenko, M. Y.; Шевченко, М. Ю.
Отображение результатов 1 до 3 из 3