Веб-портал СКФУ
Репозиторий научных и учебно-методических публикаций
Северо-Кавказский федеральный университет
Просмотр коллекции по группе - Источники Journal of Crystal Growth
Отображение результатов 1 до 1 из 1
| Дата выпуска | Наименование | Автор(ы) |
| 2016 | Growing c-axis oriented aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures | Tarala, V. A.; Тарала, В. А.; Ambartsumov, M. G.; Амбарцумов, М. Г.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.; Shevchenko, M. Y.; Шевченко, М. Ю. |