Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/3072
Название: | Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition |
Авторы: | Tarala, V. A. Тарала, В. А. Altakhov, A. S. Алтахов, А. С. Ambartsumov, M. G. Амбарцумов, М. Г. Martens, V. Y. Мартенс, В. Я. |
Ключевые слова: | Atomic layer deposition;Sapphire substrates |
Дата публикации: | 2017 |
Издатель: | Maik Nauka-Interperiodica Publishing |
Библиографическое описание: | Tarala, V.A., Altakhov, A.S., Ambartsumov, M.G., Martens, V.Y. Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition // Technical Physics Letters. - 2017. - Volume 43. - Issue 1. - Pages 74-77 |
Источник: | Technical Physics Letters |
Краткий осмотр (реферат): | The possibility of growing oriented AlN films on Al2O3 substrates at temperatures below 300°C by plasma-enhanced atomic layer deposition was examined. The samples were subjected to X-ray phase analysis and ellipsometry. It was demonstrated that the refraction index of films deposited with plasma exposures longer than 20 s was 2.03 ± 0.03. The (0002) and (0004) reflections at 2Θ angles of 35.7° and 75.9° were present in the X-ray diffraction patterns of these samples. These reflections are typical of the hexagonal AlN polytype. The full width at half maximum of the rocking curve of reflection (0002) in the best sample was 162 ± 11 arcsec |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-85013339740&origin=resultslist&sort=plf-f&src=s&nlo=&nlr=&nls=&sid=08dccdde8616d2d2d58999ab85e59422&sot=aff&sdt=sisr&sl=174&s=AF-ID%28%22North+Caucasus+Federal+University%22+60070541%29+OR+AF-ID%28%22Stavropol+State+University%22+60070961%29+OR+AF-ID%28%22stavropolskij+Gosudarstvennyj+Tehniceskij+Universitet%22+60026323%29&ref=%28Growing+oriented+AlN+films+on+sapphire+substrates+by+plasma-enhanced+atomic+layer+deposition%29&relpos=0&citeCnt=2&searchTerm= http://hdl.handle.net/20.500.12258/3072 |
Располагается в коллекциях: | Статьи, проиндексированные в SCOPUS, WOS |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
scopusresults 359 .pdf Доступ ограничен | 62.51 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть | |
WoS 182 .pdf Доступ ограничен | 256.28 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.