Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://dspace.ncfu.ru/handle/20.500.12258/3713
Название: | Growth of aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition |
Авторы: | Tarala, V. A. Тарала, В. А. Altakhov, A. S. Алтахов, А. С. Shevchenko, M. Y. Шевченко, М. Ю. Valyukhov, D. P. Валюхов, Д. П. Lisitsyn, S. V. Лисицын, С. В. Martens, V. Y. Мартенс, В. Я. |
Ключевые слова: | Aluminum;Aluminum nitride;Atomic layer deposition;Atoms;Chemical vapor deposition;Deposition;Nitrides;Refractive index;Aluminum coatings |
Дата публикации: | 2015 |
Издатель: | Maik Nauka Publishing / Springer SBM |
Библиографическое описание: | Tarala, V.A., Altakhov, A.S., Shevchenko, M.Yu., Valyukhov, D.P., Lisitsyn, S.V., Martens, V.Ya. Growth of aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition // Inorganic Materials. - 2015. - Volume 51. - Issue 7. - Pages 728-735 |
Источник: | Inorganic Materials |
Краткий осмотр (реферат): | Aluminum nitride films have been grown by plasma-enhanced atomic layer deposition under self-limiting growth and CVD-like conditions. The films have been characterized by IR spectroscopy, ellipsometry, and Auger exposure spectroscopy. We have examined the influence of the deposition temperature, the reactor purge time after exposure to trimethylaluminum vapor, and the plasma exposure time on the growth rate and composition of the films. Under the deposition conditions studied, the growth rate ranged from 0.1 to 0.26 nm per cycle and the refractive index of the films was 1.52 to 1.98. We obtained films with an aluminum to nitrogen atomic ratio near unity |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-84934342777&origin=resultslist&sort=plf-f&src=s&nlo=1&nlr=20&nls=afprfnm-t&affilName=north+caucasus+federal+university&sid=fe656e0c7517dbc25228b3d577bd000c&sot=afnl&sdt=cl&cluster=scopubyr%2c%222015%22%2ct&sl=53&s=%28AF-ID%28%22North+Caucasus+Federal+University%22+60070541%29%29&relpos=26&citeCnt=1&searchTerm= http://hdl.handle.net/20.500.12258/3713 |
Располагается в коллекциях: | Статьи, проиндексированные в SCOPUS, WOS |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
scopusresults 679 .pdf Доступ ограничен | 63.53 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть | |
WoS 441 .pdf Доступ ограничен | 425.88 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.