Репозиторий научных публикаций СКФУ: Browsing DSpace

Browsing by Subject Atomic layer deposition

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я or enter first few letters:

Showing results 1 to 5 of 5

Issue Date	Title	Author(s)
2015	Growing aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperatures	Tarala, V. A.; Тарала, В. А.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.; Lisitsyn, S. V.; Лисицын, С. В.
2017	Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer deposition	Tarala, V. A.; Тарала, В. А.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Ambartsumov, M. G.; Амбарцумов, М. Г.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.
2015	Growth of aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition	Tarala, V. A.; Тарала, В. А.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Shevchenko, M. Y.; Шевченко, М. Ю.; Valyukhov, D. P.; Валюхов, Д. П.; Lisitsyn, S. V.; Лисицын, С. В.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.
2016	Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD method	Tarala, V. A.; Тарала, В. А.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Ambartsumov, M. G.; Амбарцумов, М. Г.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.; Shevchenko, M. Y.; Шевченко, М. Ю.
2019	The dependence of aluminum nitride thin-film microstructure on the number of low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition process cycles	Ambartsumov, M. G.; Амбарцумов, М. Г.; Tarala, V. A.; Тарала, В. А.; Krandievsky, S. O.; Крандиевский, С. О.; Kravtsov, A. A.; Кравцов, А. А.; Saytiev, A. B.; Саутиев, А. Б.; Mitrofanenko, L. M.; Митрофаненко, Л. М.

Showing results 1 to 5 of 5