Browsing by Author Martens, V. Y.

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я or enter first few letters:  
Showing results 1 to 7 of 7
Issue DateTitleAuthor(s)
2015Growing aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperaturesTarala, V. A.; Тарала, В. А.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.; Lisitsyn, S. V.; Лисицын, С. В.
2016Growing c-axis oriented aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer deposition at low temperaturesTarala, V. A.; Тарала, В. А.; Ambartsumov, M. G.; Амбарцумов, М. Г.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.; Shevchenko, M. Y.; Шевченко, М. Ю.
2017Growing oriented AlN films on sapphire substrates by plasma-enhanced atomic layer depositionTarala, V. A.; Тарала, В. А.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Ambartsumov, M. G.; Амбарцумов, М. Г.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.
2015Growth of aluminum nitride films by plasma-enhanced atomic layer depositionTarala, V. A.; Тарала, В. А.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Shevchenko, M. Y.; Шевченко, М. Ю.; Valyukhov, D. P.; Валюхов, Д. П.; Lisitsyn, S. V.; Лисицын, С. В.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.
2016Growth of heteroepitaxial aluminium nitride films on aluminium oxide substrates via PEALD methodTarala, V. A.; Тарала, В. А.; Altakhov, A. S.; Алтахов, А. С.; Ambartsumov, M. G.; Амбарцумов, М. Г.; Martens, V. Y.; Мартенс, В. Я.; Shevchenko, M. Y.; Шевченко, М. Ю.
2019Perturbation of reflective discharge plasma with a hollow cathode upon the emission of plasma electronsMartens, V. Y.; Мартенс, В. Я.
2020Plasma anisotropy upon emission of charged particlesMartens, V. Y.; Мартенс, В. Я.